发明名称 PRODUCTION OF COMPOUND SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL BY VERTICAL TYPE BOAT METHOD
摘要
申请公布号 JPH06298588(A) 申请公布日期 1994.10.25
申请号 JP19930109871 申请日期 1993.04.13
申请人 DOWA MINING CO LTD 发明人 TOBA RYUICHI
分类号 C30B11/00;C30B29/40;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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