| 发明名称 |
POLYCRYSTALLINE DIAMOND SUBSTRATE AND ITS PRODUCTION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06299359(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19940018580 |
申请日期 |
1994.02.15 |
| 申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
HIGAKI KENJIRO;NAKAHATA HIDEAKI;YAGOU AKIHIRO;SHIKADA SHINICHI |
| 分类号 |
C23C16/26;C23C16/27;C23C16/56;C30B29/04;H01L21/205;H03H9/145;(IPC1-7):C23C16/56 |
主分类号 |
C23C16/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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