| 发明名称 |
FORMING METHOD OF INTERLAYER ISULATING FILM AND APPARATUS THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR940010502(B1) |
申请公布日期 |
1994.10.24 |
| 申请号 |
KR19910004053 |
申请日期 |
1991.03.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD. |
发明人 |
OTSUBO, TORU;YAMAGUCHI, YASUHIRO |
| 分类号 |
H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/3105 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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