发明名称 PLASMA GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH06293981(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930081791 申请日期 1993.04.08
申请人 NISSHIN STEEL CO LTD 发明人 MORITA YOSHIKAZU;FUKUI YASUSHI;SAITO MINORU
分类号 C23F4/00;H05H1/46;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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