发明名称 |
PLASMA GENERATOR FOR HOMOGENEOUS PLASMA PROCESSING |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06293980(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
申请号 |
JP19930081790 |
申请日期 |
1993.04.08 |
申请人 |
NISSHIN STEEL CO LTD |
发明人 |
MORITA YOSHIKAZU;FUKUI YASUSHI;SAITO MINORU;MIONO TADAAKI |
分类号 |
C23F4/00;H05H1/46;(IPC1-7):C23F4/00 |
主分类号 |
C23F4/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|