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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06295970(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930082193 申请日期 1993.04.08
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MURATA AKIHIRO
分类号 H01L21/56;H01L23/28;H01L23/50;(IPC1-7):H01L23/50 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
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