发明名称 DISC SUPPORT FOR FILMING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06295869(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930107562 申请日期 1993.04.08
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 HASHIMOTO HAJIME
分类号 C23C14/50;C23C16/458;H01F41/14;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
主权项
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