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发明名称 HEATING TREATER
摘要
申请公布号 JPH06295914(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19910306955 申请日期 1991.10.24
申请人 TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD 发明人 UENO MASAMITSU
分类号 F27D11/02;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/324;H05B3/64;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 F27D11/02
代理机构 代理人
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