| 发明名称 |
METHOD FOR TRANSMITTING AND RECEIVING SUBSTRATE AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06293969(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
| 申请号 |
JP19930082040 |
申请日期 |
1993.04.08 |
| 申请人 |
ANELVA CORP;NEC ROBOTICS ENG LTD |
发明人 |
IKEDA KOJI;ABE TOMOAKI;OGAWA ATSUSHI;MOROTA NOBORU |
| 分类号 |
C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/56 |
主分类号 |
C23C14/56 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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