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发明名称 DRY ETCHING SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06295882(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19940013888 申请日期 1994.02.08
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 NIKAWA HIDEO;OGURA TAKEISA;MATSUMOTO SEIJI;BITO YOJI
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
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