| 发明名称 |
EXCITED ATOMIC BEAM SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06295798(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
| 申请号 |
JP19930080495 |
申请日期 |
1993.04.07 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YOSHIDA ZENICHI;MIZUGUCHI SHINICHI |
| 分类号 |
G21K1/00;G21K5/04;H01J37/08;H01L21/265;H05H3/02;(IPC1-7):H05H3/02 |
主分类号 |
G21K1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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