发明名称 |
PHOTORESIST SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06296069(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
申请号 |
JP19930082076 |
申请日期 |
1993.04.08 |
申请人 |
ASAHI CHEM IND CO LTD |
发明人 |
KOYAMA RYOHEI;TSUBAKIHARA MASAHIRO |
分类号 |
C25D5/44;H05K3/20;(IPC1-7):H05K3/20 |
主分类号 |
C25D5/44 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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