发明名称 PHOTORESIST SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06296069(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930082076 申请日期 1993.04.08
申请人 ASAHI CHEM IND CO LTD 发明人 KOYAMA RYOHEI;TSUBAKIHARA MASAHIRO
分类号 C25D5/44;H05K3/20;(IPC1-7):H05K3/20 主分类号 C25D5/44
代理机构 代理人
主权项
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