发明名称 CAPACITANCE TYPE SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPH06294695(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930106115 申请日期 1993.04.07
申请人 OMRON CORP 发明人 OMI TOSHIHIKO
分类号 G01L9/12;H01L29/84;(IPC1-7):G01L9/12 主分类号 G01L9/12
代理机构 代理人
主权项
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