| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON WAFER AND SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06295913(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
| 申请号 |
JP19930083559 |
申请日期 |
1993.04.09 |
| 申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
SENSAI KOUJI;SHIRAI HIROSHI;YOSHIKAWA ATSUSHI;KASHIMA KAZUHIKO;KIRINO YOSHIO |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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