发明名称 |
MANUFACTURE OF SILICON WAFER AND SILICON WAFER |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06295912(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
申请号 |
JP19930083558 |
申请日期 |
1993.04.09 |
申请人 |
TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
SENSAI KOUJI;SHIRAI HIROSHI;YOSHIKAWA ATSUSHI;KASHIMA KAZUHIKO;KIRINO YOSHIO |
分类号 |
H01L21/02;H01L21/322;(IPC1-7):H01L21/322 |
主分类号 |
H01L21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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