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发明名称 PRODUCTION OF HIGH RESISTANCE COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH06295864(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930081756 申请日期 1993.04.08
申请人 JAPAN ENERGY CORP 发明人 KAISOU TAKASHI
分类号 C30B29/40;C30B33/02;H01L21/205;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B29/40
代理机构 代理人
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