发明名称 TAKEOUT OF FRAME FOR ELECTRONIC COMPONENT MANUFACTURE AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06295929(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930080601 申请日期 1993.04.07
申请人 ROHM CO LTD 发明人 ONO TOMOJI
分类号 H01L21/50;(IPC1-7):H01L21/50 主分类号 H01L21/50
代理机构 代理人
主权项
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