| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR LASER DIGITAL OSCILLATORY DISPLACEMENT MEASURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06294680(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
| 申请号 |
JP19930083374 |
申请日期 |
1993.04.09 |
| 申请人 |
RES DEV CORP OF JAPAN |
发明人 |
SHINOHARA SHIGENOBU;TOYOSHIMA MORIO;IKEDA HIROAKI;YOSHIDA HIROBUMI;SUMI MASAO |
| 分类号 |
G01H9/00;(IPC1-7):G01H9/00 |
主分类号 |
G01H9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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