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发明名称 VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER SILIKATSCHICHT IN EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNG.
摘要
申请公布号 DE59007163(D1) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE19905007163 申请日期 1990.11.09
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 SIGMUND, HERMANN, D-8034 GERMERING, DE;KLUMPP, ARMIN, D-8000 MUENCHEN 2, DE
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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