发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 KR940010157(B1) 申请公布日期 1994.10.22
申请号 KR19900014303 申请日期 1990.09.11
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 USUKI, YOSHIKAZU;HIRAKI, JUNICHI;YAWATA, SHIGEO;MORIYAMA, SHIGERU;OKANO, JUNICHI
分类号 H01L21/225;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/329;H01L29/866;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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