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发明名称 Vorrichtung zur Messung physikalischer Eigenschaften eines Teilchenstromes
摘要
申请公布号 DE4016108(C2) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE19904016108 申请日期 1990.05.18
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG EV, 80636 MUENCHEN, DE 发明人 JANES, JOACHIM, 1000 BERLIN, DE
分类号 H01J37/32;H01J49/10;H01J49/42;(IPC1-7):G01N27/62;G05D3/10;C23F4/00 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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