发明名称 Beschichtungsflüssigkeit zur Herstellung einer Oxidschicht.
摘要
申请公布号 DE68918124(D1) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE19896018124 申请日期 1989.01.31
申请人 HITACHI CHEMICAL CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 MORISHIMA, HIROYUKI YAMAZAKI WORKS OF, HITACHI-SHI IBARAGI-KEN, JP;UCHIMURA, SHUN-ICHIRO YAMAZAKI WORKS OF, HITACHI-SHI IBARAGI-KEN, JP
分类号 C08G79/00;C08G77/48;C08G77/58;C09D183/00;C09D183/04;C09D183/14;C09D185/00;C23C18/12;H01L21/31;H01L21/312;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):C23C18/12 主分类号 C08G79/00
代理机构 代理人
主权项
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