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发明名称 Anordnung zum Charakterisieren von Halbleitern durch Hoch-Resolution-Elektro-Lumineszenz bei niedriger Temperatur.
摘要
申请公布号 DE68914733(T2) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE19896014733T 申请日期 1989.07.03
申请人 N.V. PHILIPS' GLOEILAMPENFABRIEKEN, EINDHOVEN, NL 发明人 LE BRIS, JEAN SOCIETE CIVILE S.P.I.D., F-75007 PARIS, FR;ERMAN, MARKO SOCIETE CIVILE S.P.I.D., F-75007 PARIS, FR;GILLARDIN, GERARD SOCIETE CIVILE S.P.I.D., F-75007 PARIS, FR
分类号 G01N21/64;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01N21/64
代理机构 代理人
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