发明名称 Organoarsenido and organophosphido metallanes, preparation thereof and use thereof
摘要 The invention provides a process for preparing organoarsenido and organophosphido metallanes, novel organoarsenido metallanes and use of the organoarsenido and organophosphido metallanes for producing semiconducting III/V layers.
申请公布号 DE4331654(C1) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE19934331654 申请日期 1993.09.17
申请人 MORSTEIN, MARCUS, DR., 50939 KOELN, DE;KRUCK, THOMAS, PROF. DR., 50374 ERFTSTADT, DE 发明人 MORSTEIN, MARCUS, DR., 50939 KOELN, DE;KRUCK, THOMAS, PROF. DR., 50374 ERFTSTADT, DE
分类号 C07F9/28;C07F9/70;C23C16/30;C30B25/02;(IPC1-7):C07F19/00;C07F5/00;C07F5/06;C07F9/66;C07F9/50;C07F1/00;C07F7/02;H01L21/20 主分类号 C07F9/28
代理机构 代理人
主权项
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