发明名称 System zur Belichtung mittels geladener Teilchenstrahlen.
摘要
申请公布号 DE68918144(D1) 申请公布日期 1994.10.20
申请号 DE19896018144 申请日期 1989.03.30
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YASUDA, HIROSHI, YOKOHAMA-SHI KANAGAWA 222, JP;KAI, JUNICHI, SETAGAYA-KU TOKYO 158, JP;KATAOKA, TOYOTAKA, TAMA-KU KAWASAKI-SHI KANAGAWA 214, JP;TAKAHASHI, YASUSHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA 213, JP;MIYAKI, SHINJI, TOKUSHIMA-SHI TOKUSHIMA 779-31, JP;SAKAMOTO, KIICHI, TOSHIMA-KU TOKYO 170, JP
分类号 H01J37/30;H01J37/317;(IPC1-7):H01J37/30;G03F7/20 主分类号 H01J37/30
代理机构 代理人
主权项
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