Bodies having microstructure and process for the production thereof.

摘要

2.1 Mikrostrukturkörper werden mittels eines z. B. nach dem LIGA-Verfahren hergestellten Formeinsatzes abgeformt. Das Verfahren ist in vielen Fällen aufwendig. Die erreichbaren Strukturformen sind begrenzt. Bei der Auswahl der Werkstoffe ist ein Kompromiß einzugehen zwischen den Anforderungen im Fertigungsprozeß und den Anforderungen beim Einsatz der Mikrostrukturkörper. 2.2 Der mikrostrukturierte Formeinsatz wird aus einem festen Körper (Metall, Keramik, Glas, Stein oder einkristallinem Material) durch feinmechanische Präzisionsbearbeitung, additive oder subtraktive Strukturierung hergestellt. Der Formeinsatz wird mit einem fließfähigem Material ausgefüllt und Überdeckt; das verfestigte Material wird von dem Formeinsatz getrennt, wobei der Mikrostrukturkörper erhalten wird. Zum Herstellen des Formeinsatzes wird ein Material gewählt, das aufgrund seiner Eigenschaften für diese Strukturierungsverfahren möglichst gut geeignet ist. Für den Mikrostrukturkörper werden Werkstoffe ausgewählt, die die an diesen gestellte Anforderungen optimal erfüllen. 2.3 Herstellung von Mikrostrukturkörpern mit optimalen Materialeigenschaften und in erweiterter Formenvielfalt. <IMAGE> <IMAGE>