发明名称 MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR940009996(B1) 申请公布日期 1994.10.19
申请号 KR19900016768 申请日期 1990.10.20
申请人 TOSHIBA CO., LTD. 发明人 TSUJI, HITOSHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/285;H01L21/311;H01L21/335;H01L21/338;(IPC1-7):H01L21/268 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
主权项
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