| 摘要 |
L'invention se rapporte à un collimateur amélioré à durée de vie prolongée (11) pour la pulvérisation cathodique, qui comprend plusieurs passages (20) dont la section transversale décroit longitudinalement depuis un côté cible (13) du collimateur jusqu'à un côté plaquette (14) du collimateur. Cette diminution longitudinale de la section transversale réduit les effets néfastes sur la durée de vie utile du collimateur et sur la vitesse de dépôt du revêtement de la plaquette, effets qui sont généralement causés par l'accumulation de particules pulvérisées sur les surfaces exposées du côté de la cible du collimateur (11). Par rapport aux collimateurs de l'état actuel de la technique, le collimateur décrit ici (11) peut être utilisé pour recouvrir par pulvérisation un plus grand nombre de plaquettes (14) avant que son remplacement ou son nettoyage soient nécessaires, ce qui signifie que son rendement est supérieur. |
