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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0682829(B2) 申请公布日期 1994.10.19
申请号 JP19920311596 申请日期 1992.11.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 OKAMOTO TATSURO;OGAWA IKUO
分类号 H01L29/43;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L29/46;H01L21/320 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
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