发明名称
摘要
申请公布号 JPH0682663(B2) 申请公布日期 1994.10.19
申请号 JP19890193518 申请日期 1989.07.26
申请人 NIPPON JIDOSHA BUHIN SOGO KENKYUSHO KK 发明人 OOSHIMA HISAZUMI;SAKAKIBARA NOBUYOSHI;UENO YOSHIKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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