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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0682663(B2)
申请公布日期
1994.10.19
申请号
JP19890193518
申请日期
1989.07.26
申请人
NIPPON JIDOSHA BUHIN SOGO KENKYUSHO KK
发明人
OOSHIMA HISAZUMI;SAKAKIBARA NOBUYOSHI;UENO YOSHIKI
分类号
H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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