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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0682869(B2) 申请公布日期 1994.10.19
申请号 JP19880233846 申请日期 1988.09.20
申请人 INTAANASHONARU BIJINESU MASHIINZU CORP 发明人 AARUNABA GUPUTA
分类号 C01B13/32;C01G1/00;C01G3/00;C04B41/87;H01B12/06;H01B13/00;H01L21/027;H01L21/84;H01L39/24;(IPC1-7):H01L39/24 主分类号 C01B13/32
代理机构 代理人
主权项
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