X射线摄像管

摘要

一种将透射X射线转换成电信号的X射线摄像管，其靶结构包括：接收二维分布的透射X射线并将其转换成二维分布的可见射线的荧光元件；光耦合至荧光元件表面，并承受高电压的半透明导电膜；和层叠在半透明导电膜上、含有非晶半导体层的光敏膜；非晶半导体层能将透射的可见射线转换成二维分布的电荷，并在由所述高电压形成的电场下倍增电荷。该摄像管还包括能读出作为电信号的光敏膜上二维电势分布的信号读出装置。

主权项

1、一种用以将透射的X射线图像转换为电信号的X射线摄像管，包括：荧光元件，用以接收呈二维分布的透射X射线，并将该透射X射线转换为呈二维分布的可见射线；半透明导电膜，它光耦合到荧光元件上与其X射线入射面相反的一面，该半透明导电膜承受一个高电压；光敏膜，它层叠在半透明导电膜上，并包括一非晶半导体层，用以通过半透明导电膜将以二维分布透射的可见射线转换为按二维分布的电荷，并在加到半透明导电膜上的高压所形成的电场下，倍增按二维分布的电荷；以及信号读出装置，它用以扫描光敏膜上与可见射线入射面相反的一面，读出光敏膜上形成的二维电位分布作为电信号。