| 发明名称 |
ANTIREFLECTION FILM COMPOSITION AND PRODUCTION OF PATTERN USING THE SAME |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06289620(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
| 申请号 |
JP19930077984 |
申请日期 |
1993.04.05 |
| 申请人 |
HITACHI CHEM CO LTD |
发明人 |
KASUYA KEI;HASHIMOTO MICHIAKI |
| 分类号 |
G03F7/11;G03F7/26;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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