发明名称 PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06291328(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930074397 申请日期 1993.03.31
申请人 SONY CORP 发明人 YAMAZAKI TAKESHI
分类号 H01L21/3205;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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