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发明名称
PREPARATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06291328(A)
申请公布日期
1994.10.18
申请号
JP19930074397
申请日期
1993.03.31
申请人
SONY CORP
发明人
YAMAZAKI TAKESHI
分类号
H01L21/3205;H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788;H01L21/320
主分类号
H01L21/3205
代理机构
代理人
主权项
地址
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