CLEANING EQUIPMENT FOR SUBSTRATE,申请号JP19930095540-传众专利搜索

发明名称	CLEANING EQUIPMENT FOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号	JPH06291102(A)	申请公布日期	1994.10.18
申请号	JP19930095540	申请日期	1993.03.30
申请人	NIPPON STEEL CORP	发明人	KAWASHIMA HIDEAKI
分类号	B08B3/04;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B08B3/04
代理机构		代理人
主权项
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