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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06291201(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930105185 申请日期 1993.04.06
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKEUCHI HIDEKI
分类号 H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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