发明名称 SEPARATING/DRYING EQUIPMENT FOR THIN LEAF PIECE
摘要
申请公布号 JPH06291106(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19920118568 申请日期 1992.04.13
申请人 HIROSE DATSUSUIKI SEISAKUSHO:KK 发明人 HIROSE YASUSHIGE
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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