| 发明名称 |
DRIVE OF SHIFTABLE TABLE DEVICE OF SCANNING PROBE MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06289170(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
| 申请号 |
JP19930073218 |
申请日期 |
1993.03.31 |
| 申请人 |
OLYMPUS OPTICAL CO LTD |
发明人 |
NAGAOKA HIDEKI;MISHIMA SHUZO;ITO SHUICHI |
| 分类号 |
G01B7/34;G01B21/30;G01Q10/02;G01Q60/10;G01Q60/24;G12B5/00;(IPC1-7):G12B5/00 |
主分类号 |
G01B7/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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