发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06291137(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
申请号 |
JP19930098795 |
申请日期 |
1993.03.31 |
申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
YASUSHIGE HIROAKI;NOGUCHI TAKASHI;KANEMATSU SHIGERU |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/268;H01L21/331;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/331 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|