| 发明名称 |
FABRICATION OF POLYSILICON THIN FILM TRANSISTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06291145(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
| 申请号 |
JP19930077922 |
申请日期 |
1993.04.05 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP;TOSHIBA ELECTRON ENG CORP |
发明人 |
KASHIMOTO NOBORU |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/28;H01L21/336;H01L29/40;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/336;H01L29/784 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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