| 发明名称 |
EVALUATING AND CORRECTING METHOD FOR DISTORTION OF REDUCTION PROJECTION LENS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06291015(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
| 申请号 |
JP19930077853 |
申请日期 |
1993.04.05 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
YAMASHITA KAZUHIRO |
| 分类号 |
G01B11/24;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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