发明名称 HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06291029(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930100216 申请日期 1993.04.02
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD 发明人 HARA TAKASHI
分类号 H01L21/324;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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