| 发明名称 |
HEAT TREATMENT OF THIN FILM |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06291034(A) |
申请公布日期 |
1994.10.18 |
| 申请号 |
JP19930096957 |
申请日期 |
1993.03.31 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
DARAMU PARU GOSAIN;SAMEJIMA TOSHIYUKI;HARA MASATERU;SANO NAOKI;KONO ATSUSHI;USUI SETSUO;JIYONASAN UESUTOUOOTAA |
| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
