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经营范围
发明名称
BURN-IN APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH06291168(A)
申请公布日期
1994.10.18
申请号
JP19930075585
申请日期
1993.04.01
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
UMETSU TSUNENORI
分类号
H01L21/326;G01R31/26;H01L21/02;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/326
代理机构
代理人
主权项
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