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发明名称 SEMICONDUCTOR VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06291066(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930101800 申请日期 1993.04.06
申请人 FURUKAWA ELECTRIC CO LTD:THE 发明人 MATSUO NOZOMI
分类号 C30B25/00;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C30B25/00
代理机构 代理人
主权项
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