发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06291091(A) 申请公布日期 1994.10.18
申请号 JP19930077843 申请日期 1993.04.05
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 ERIGUCHI KOUJI;OGAWA HISASHI;UNO AKIHITO;IMAI SHINICHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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