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发明名称
VERFAHREN ZUR CHEMISCHEN ABSCHEIDUNG AUS DER DAMPFPHASE VON NITRIDEN DER ÜBERGANGSMETALLE.
摘要
申请公布号
AT112328(T)
申请公布日期
1994.10.15
申请号
AT19910901979T
申请日期
1990.11.28
申请人
PRESIDENT AND FELLOWS OF HARVARD COLLEGE
发明人
GORDON, ROY, G.;FIX, RENAUD;HOFFMAN, DAVID PROF
分类号
C01B21/06;C23C16/34;(IPC1-7):C23C16/34;C23C16/46
主分类号
C01B21/06
代理机构
代理人
主权项
地址
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