发明名称 Outil de préhension de nacelles pour plaquettes de silicium.
摘要
申请公布号 FR2693395(B1) 申请公布日期 1994.10.14
申请号 FR19920008818 申请日期 1992.07.08
申请人 SGS THOMSON MICROELECTRONICS SA 发明人 BROU BRUNO
分类号 B25B7/02;H01L21/687;(IPC1-7):B25G1/10 主分类号 B25B7/02
代理机构 代理人
主权项
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