Procédé et dispositif de contrôle de la teneur en bore de borophosphosilicate.

摘要

L'invention concerne un procédé et un dispositif de contrôle de la teneur en bore du borophosphosilicate, BPSG.
Le BPSG est obtenu par oxydation du silane, du diborane et de la phosphine dans un réacteur à partir d'un premier mélange diborane/silane, d'un deuxième mélange phosphine/silane et d'un flux de silane par le contrôle du rapport rho = diborane/(diborane + silane) du mélange résultant. Le contôle est obtenu par mesure (100) dans le premier mélange du taux d'hydrogène résiduel chi puis modulation (101) du débit massique du premier mélange en fonction de la valeur du taux d'hydrogène résiduel, ce qui permet de réguler la teneur en bore du borophosphosilicate obtenu.
Application à la fabrication des circuits intégrés.