Capteur de pression de grande précision, gradiomanomètre incorporant un tel capteur et procédé de fabrication de ce capteur.

摘要

Dans un capteur de pression dont l'élément sensible est constitué par une membrane déformable (22) portant un pont de jauges piézorésistives apte à mesurer sa déformation, on interpose entre la membrane (22) et son support (28) une pièce de découplage (34) comportant une zone déformable (38). Un jeu limité (44) formé entre la zone périphérique extérieure (36) de la pièce de découplage (34) et le support (28) évite que la pression nécessaire à la fixation de la membrane (22) sur la pièce (34), par exemple par collage, lors de la fabrication du capteur, engendre une rupture de la zone déformable (38).